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SF6檢漏儀工作原理取決于采用何種類型的傳感器

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SF6檢漏儀工作原理主要看器儀器采用是某種方式的傳感器進行檢測，SF6氣體檢漏儀傳感器類型分析如下：

各種SF6傳感器的性能比較
傳感器類型	工作原理詳細描述	可檢測氣體種類	優點	缺點	適應場合	備注
高頻電離法	對稀薄氣體進行高頻電離時，電負性氣體分子可以吸附電子轉為大質量離子，其在電磁場中的速度遠比電子慢，因此氣體會表現出不同的電特性。	電負性氣體，主要為SF6和鹵代烴	檢測下限濃度，小于100ppb的SF6濃度也可以被檢測出來，不中毒	裝置復雜，工作穩定性不好，操作不算方便，每次使用前都需要標零，對多種其他氣體也敏感	用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器	高頻電離法應用廣泛
半導體法	高溫半導體吸附極性分子（含有鹵素的分子容易具有極性的極性）后特性發生變化	醇類，醛類，鹵代烴，主要為各類制冷劑和溶劑	價格低廉	對SF6完全不敏感（SF6不屬于鹵代烴，也不是極性分子，不會被吸附）	不適合監測SF6	半導體法
激光光聲法	使用波長等于SF6氣體吸收峰的激光照射被測氣體，當被測氣體中含有SF6時，會吸收激光能量并發熱膨脹，產生聲波。	SF6	檢測下限濃度，可達1?10ppb，	裝置復雜，價格較昂貴，有一定誤報概率，檢測取樣多，響應速度慢	用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器	聲光法
超聲波法	SF6氣體碳酸鹽濃度。當氣體中含有SF6時，平均分子量變大，其中聲速相應降低。	SF6	工作較穩定，裝置簡單，價格低廉	分辨率低，檢測下限較高（通常在數十ppm以上），受溫濕度影響大，受其他氣體干擾大	可以做雙氣體（例如SF6和氮氣混合氣體）中SF6含量測量用	超聲波法
激光光譜法	利用SF6對10.6微米激光的強吸收，測得吸收池中氣體的SF6濃度	SF6	0.01PPM	價格昂貴，工作不穩定	被激光光聲法和紅外光譜法取代	激光法
紅外光譜法	提供測量通道和參考通道，分別加裝不同波長的濾光片，使之獲得不同波長的紅外光，測量通道內部波長位于SF6的吸收峰上，參考檢測通過兩個通道的紅外光，并做對比，比值即表征了被測氣體中的SF6濃度。	各種具有紅外吸收峰的氣體，只針對SF6氣體有作用	完全真實的SF6濃度值，裝置較簡單，體積小，精度高，工作穩定，壽命長，漂移小，不中毒	檢測下限高于ECD法，高頻電離法和激光光聲法。每年需要對傳感器進行標定，價格適中	在線監測和手持式定量檢漏儀	紅外光譜法精度高，性能穩定，目前廣泛應用
高壓擊穿法	SF6具有很強的滅弧性能。使用高電壓擊穿氣體，當氣體中含有SF6時，電弧電流和持續時間都有所變化。檢測這種變化，可以探測出SF6氣體濃度。	各種具有滅弧性能的氣體	裝置簡單小巧，也一體靈敏	本身短。不適合做定量檢測	適合做手持的定性式檢測儀器
電子逮捕獲法（ECD法）	負離子進入電場，因質量不同，電場下速度不同，在窄脈沖電場下不同質量的電負性氣體分子產生不同的電流峰。	各種電負性氣體	對SF6的檢測下限極低，可達PPT等級	昂貴。線性范圍小，SF6濃度稍大即飽和，且有長期拖尾（類似中毒）。	用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器	傳感器容易中毒
負離子捕獲法	利用帶電的吸嘴（電極）吸氣，氣體中的SF6由于有強烈的電負性，經過吸嘴時會被吸附帶電，產生電流。	各種電負性氣體	裝置較簡單，操作方便	裝置通常需要配氣泵，檢測下限在零點幾ppm級，遠不如激光光聲，電子俘獲等方法，壽命短，反應慢	用于檢測微量泄漏的定量檢漏儀器，正在被其他方法取代