沖擊電壓發生器通常都采用Marx回路，如圖1所示。圖中C為級電容，它們由充電電阻R并聯起來，通過整流回路T-D-r充電到V。此時，因保護電阻r一般比R約大10倍，它不僅保護了整流設備，而且還能保證各級電容充電比較均勻。
國電西高生產的GDCY系列沖擊電壓發生器
在第1級中g0為點火球隙，由點火脈沖起動；其他各級中g為中間球隙，它們調整在g0起動后逐個動作。
這些球隙在回路中起控制開關的作用，當它們都動作后，所有級電容C就通過各級的波頭電阻Rf串聯起來，并向負荷電容C0充電。此時，串聯后的總電容為C/n，總電壓為nV。n為發生器回路的級數。由于C0較小，很快就充滿電，隨后它將與級電容C一起通過各級的波尾電阻Rt放電。這樣，在負荷電容C0上就形成一很高電壓的短暫脈沖波形的沖擊電壓。
在此短暫的期間內，因充電電阻R遠大于Rf和Rt，因而它們起著各級之間隔離電阻的作用。
沖擊電壓發生器利用多級電容器并聯充電、串聯放電來產生所需的電壓，其波形可由改變Rf和Rt的阻值進行調整，幅值由充電電壓V來調節，極性可通過倒換硅堆D兩極來改變。
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