與SF6開關相比，真空開關主要表現在以下幾個方面：

　　1.真空開關真空度無法監測：在實際操作中，作為滅弧介質的真空度是決定其能否投入運行以及在運行過程中能否進行開閉操作的關鍵指標。然而，在實際操作中，操作員無法監測真空度。SF6開關可以通過多種方式執行氣壓檢測和電氣或機械聯鎖。

　　2.真空開關的觸點磨損到一定程度時必須更換。另一方面，SF6開關觸點磨損較小，不需要考慮其過度磨損導致的性能下降。

　　3.真空開關的打開距離小，操作機構的性能要求高（以確保速度，并減少彈跳），要求對觸點超程和觸點壓力有更好的控制，并且需要滅弧室和操作機構。匹配精度高。SF6開關觸點斷開距離一般比較大，操作機構簡單可靠，免維護周期長。

　　4.由于真空開關中斷小電流，特別是在中斷小感應電流（如空載變壓器的勵磁電流）時，電流截流經常發生，產生截流過電壓，截流值越大，產生的過電壓越高。此外，當真空斷路器斷開電容器組的電容電流時，很難實現絕對無電弧再點燃。如果有一天重新點火，也會發生重新點火過電壓。切斷過電壓和再點火過電壓對整個系統和開關本身極為有害。SF6開關由于其優異的電氣性能，不會產生電流切斷。

　　隨著SF6開關技術的快速發展，以及先進的切割和焊接設備的使用，開關的密封性能得到了極大的提高。一般情況下，SF6開關可以在不維護的情況下保證10年以上，一些制造商可以保證30年。